濺射靶材作為一種零件，在微電子領域、顯示器等領域中都有著廣泛的應用，在濺射靶材的使用過程中，濺射靶材的保養也是不可忽視的方面，經常保養濺射靶材能夠減少濺射靶材表面的殘留物，提高靶材的利用效率，那么濺射靶材的保養方法有哪些呢？下面豐聯科小編帶大家來了解一下
靶材維護能夠避免在靶材的濺射過程中，因為濺射靶材不干凈的腔體而導致出現短路或起弧現象，因此需要階段性地去除靶材濺射軌道中間和兩側的堆積物，有助于使用者能連續地以大功率密度進行濺射。
對于濺射靶材的儲存，盡量將其儲存在真空包裝中，特別是貼合濺射靶材，須在真空條件下儲存，避免出現貼合層氧化導致影響濺射靶材貼合質量。儲存金屬濺射靶材時，可以將其儲存在潔凈的塑料袋中，不過能真空包裝就盡量將其真空包裝儲存。
首先使用在丙酮中浸泡過的無絨軟布進行清潔，之后再使用酒精進行清潔，清潔完后使用去離子水對濺射靶材進行清洗，清洗完成后將濺射靶材放在烘箱中以100度的溫度烘干30分鐘，如果是陶瓷濺射靶材的話建議使用無絨布進行清洗。上述全部完成后，再用高壓低濕氣的氬氣對濺射靶材進行沖洗，清洗掉會在濺射系統中引起電弧的不純顆粒。
濺射靶材在安裝完成后要對整個陰極進行短路檢查和密封性檢查，一般是使用電阻儀搖表的形式對陰極進行檢查，判斷它是否存在短路現象，在確保陰極不存在短路現象后，再對它進行密封性檢查，將水通入陰極中來判斷是否存在漏水的現象。
在濺射靶材的運輸過程中，盡量將靶材包裝在帶有防潮劑的真空密封袋中，之后使用木箱做為外包裝，并在其四周安裝防撞層，保護靶材和背板，防止靶材和背板在運輸儲存過程中損壞。
以上就是豐聯科對濺射靶材保養方法的全部介紹，濺射靶材按時的維修保養能夠提高靶材的利用效率，減少使用時發生故障的概率。豐聯科光電股份有限公司鉬及鉬合金靶材、鎢及鎢合金靶材等產品，如果您想了解更多相關資訊，歡迎向我們致電咨詢。
