大家都知道靶材分為很多種，比如合金，氧化物，銅、鋁、不銹鋼、鎳、鈦等金屬，而根據金屬的不同，需要用到各種不同的靶材制備方法，今天四豐小編就專門來為大家介紹一下濺射靶材制備工藝方法和特點，我們一起來了解一下吧！
　　

　　濺射靶材的不同工藝方法及特點

　　

　　1、粉末燒結法

　　
　　一般熱壓、真空熱壓、熱等靜壓等工藝會用到粉末燒結法。
　　
　　（1）特點：這種制備工藝具有容易獲得均勻細晶結構、節約原材料、生產效率高等特點。其關鍵在于需要選擇高純、超細粉末作為原料，選擇可以實現快速致密化的成形燒結技術，從而保證靶材的低孔隙率，并控制晶粒度。在制備的過程中需嚴格控制雜質元素的引入。
　　
　　（2）適合金屬：適合W、Mo、Ru等難溶性金屬和合金。

　　2、熔煉鑄造法

　　
　　一般真空感應熔煉、真空電弧熔煉、真空電子轟擊熔煉等工藝會用到熔煉鑄造法。
　　
　　（1）特點：熔煉鑄造法和粉末法相比，熔煉合金靶材的雜質含量，特別是氣體雜質含量低，而且能高密度化、大型化，但是對于熔點和密度相差都很大的金屬，熔煉法會難以獲得成分均勻的合金靶材。
　　
　　（2）適用金屬：適合AI、Ti、Ni、Cu、Co、Ta、Ag、Pt等具有良好塑性的金屬。
　　

　　3、擠壓工藝

　　
　　一般熱擠壓、冷擠壓、溫擠壓等都會用到擠壓工藝。
　　
　　（1）特點：主要用于制備塑性好的金屬及合金旋轉靶材。
　　
　　（2）適用金屬：適合AI、Cu、Zn等塑性好的金屬。
　　

　　4、等離子噴涂法

　　
　　一般真空、水穩、氣穩等離子噴涂等工藝都會用到等離子噴涂法。
　　
　　（1）特點：可用于制備脆性金屬及合金、陶瓷靶材等旋轉靶材。
　　
　　（2）適用金屬：適合Cr、Si、氧化物等的旋轉靶材。
　　
　　經過以上介紹可知濺射靶材制備工藝方法主要有粉末燒結法、熔煉鑄造法、擠壓工藝、等離子噴涂法等，不同工藝適用場合不同、特點不同、適用金屬也不同，所以不同的金屬所用到的制備工藝都是不同的，我們可以做個相關的了解，如果大家還有疑問可以隨時致電洛陽高新四豐電子材料有限公司，我們的工作人員經驗豐富、售后服務完善、所生產靶材規格多樣、制備工藝精良，如有需要，歡迎大家隨時致電或留言進行咨詢。